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MKS AX7695远程射频等离子源是一种先进的设备，它基于电磁耦合原理，能够产生射频能量以激发产品内部腔体的气体成为等离子体。这种等离子体可以输入用户的真空腔
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MKS AX7695远程射频等离子源是一种先进的设备，它基于电磁耦合原理，能够产生射频能量以激发产品内部腔体的气体成为等离子体。这种等离子体可以输入用户的真空腔体，参与各种工艺反应。
远程等离子源的特点在于其独立存在于用户的真空腔体之外。产生的等离子体经过扩散和运输后，主要以自由基的形式参与用户腔体内的工艺反应。与在用户腔体内直接产生的以离子电子为主的等离子体相比，以自由基为主的等离子体参与工艺反应可以减轻离子轰击对工艺对象产生的物理损伤和热负荷。因此，MKS AX7695远程射频等离子源非常适合需要避免离子轰击及高热负荷的工艺。
该设备通常被用于真空腔体中的表面处理、材料改性、薄膜沉积等工艺，也可以用于对工艺腔体进行分子级清洗。除了半导体相关的应用之外，MKS AX7695远程射频等离子源还可以被广泛应用到新材料、新能源、环境科学、生物医药等多个领域。
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