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productAMAT 0190-41326 远程等离子体源RPS发生器(以下简称RPS发生器)的详细信息如下:基本信息产品型号:Astron AX7687-85,P/N 0
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AMAT 0190-41326 远程等离子体源RPS发生器(以下简称RPS发生器)的详细信息如下:
远程等离子源RPS是一种通过射频或微波电磁波产生等离子体的装置。其基本原理是利用射频或微波电磁波在腔体内产生高频电场,使得气体分子电离形成等离子体。由于等离子体与腔体之间有隔离屏障,因此称为“远程”等离子源。
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