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AMAT 0190-41326 远程等离子体源RPS发生器

产品简介

AMAT 0190-41326 远程等离子体源RPS发生器(以下简称RPS发生器)的详细信息如下:基本信息产品型号:Astron AX7687-85,P/N 0

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更新时间:2024-05-27
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AMAT 0190-41326 远程等离子体源RPS发生器(以下简称RPS发生器)的详细信息如下:

基本信息

  • 产品型号:Astron AX7687-85,P/N 0190-41326W
  • 品牌:MKS/美国
  • 应用领域:能源、电子、电气、综合(特别在半导体制造中用于沉积和蚀刻室清洁工艺)

技术参数

  • AC输入:208V ~, 3 phase ~, 50/60Hz, 30A
  • 散热方式:水冷散热
  • 水冷水压:100 PSIG (Max.)
  • 通信接口:RS-232 / Cust I/O

特点和优势

  • 高性能:经过长期验证的具有优良性能和高可靠性的远程等离子体源。
  • 清洁工艺:关键子组件,用于沉积和蚀刻室清洁工艺,消除工艺副产物从室壁积聚,增加工艺工具的寿命,并减少薄膜污染的来源。
  • 广泛应用:可广泛应用于CVD室清洁、FPD(平板显示器)所需的反应气体室清洁、太阳能室清洁等。
  • 结构紧凑:结构紧凑,易于集成和维护。

工作原理

远程等离子源RPS是一种通过射频或微波电磁波产生等离子体的装置。其基本原理是利用射频或微波电磁波在腔体内产生高频电场,使得气体分子电离形成等离子体。由于等离子体与腔体之间有隔离屏障,因此称为“远程”等离子源。

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