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AMAT 0010-27983 MCA E-CHUCK ESC 加热器

产品简介

AMAT 0010-27983 MCA E-CHUCK ESC加热器是半导体制造行业中用于特定工艺环节的一种设备。其中,E-CHUCK ESC(静电卡盘)是晶圆

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更新时间:2024-05-23
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AMAT 0010-27983 MCA E-CHUCK ESC加热器是半导体制造行业中用于特定工艺环节的一种设备。其中,E-CHUCK ESC(静电卡盘)是晶圆制造过程中用于固定工件(通常是晶圆)以便进行加工、测量、装配等操作的重要零部件。

静电卡盘由于其对工件损伤小、精度高等特点,被广泛应用于半导体制造工艺等需要精密加工的场景。它利用静电吸附的原理,将晶圆均匀且稳定地固定在卡盘上,保证了晶圆的平整度和加工精度。同时,由于静电卡盘在工作时产生的污染较小,也有助于提高晶圆加工的良率。

AMAT 0010-27983 MCA E-CHUCK ESC加热器则可能是为了维持静电卡盘及其吸附的晶圆在特定温度范围内,以保证加工过程的稳定性和精度。具体的加热方式和温度控制范围可能因设备型号和具体应用场景而有所不同。

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