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AMAT 0010-22985 E-CHUCK 加热器

产品简介

AMAT 0010-22985 E-CHUCK加热器是一款由AMAT公司提供的特定型号加热器，以下是对其的详细分析：产品型号与标识：型号：AMAT 0010-2

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更新时间：2024-05-31
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AMAT 0010-22985 E-CHUCK加热器是一款由AMAT公司提供的特定型号加热器，以下是对其的详细分析：

  1. 产品型号与标识：
    • 型号：AMAT 0010-22985
    • 名称：E-CHUCK加热器
  2. 用途与特点：
    • E-CHUCK加热器主要用于半导体加工设备中，特别是与晶圆处理相关的设备。
    • 它通常作为陶瓷加热器的一种，具有均匀温度分布的特性，能够对晶圆进行均匀加热，确保在衬底表面上进行高精度的反应并生成薄膜。
  3. 材质与性能：
    • E-CHUCK加热器可能采用氮化铝陶瓷材料，这种材料具有电绝缘性和优异的导热性，非常适合需要散热的应用。
    • 氮化铝的热膨胀系数接近硅，且具有优异的等离子体抗性，这些特性使得它成为制造半导体加工设备部件的理想选择。

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